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中國芯片邁出一大步,蝕刻機已達先進水平,光刻機迎頭快跑

發表時間:2019-08-20 15:34:37
國產芯片已經取得了非常大的成果,雖然離世界芯片巨頭還有距離,但是現在無疑已經來到了最佳時刻。我們知道在芯片制造領域,有兩個機器非常重要,那就是光刻機和蝕刻機。雖然我國在光刻機方面還在追跑,但是在蝕刻機方面絕對是躋身全球第一梯隊。

還記得在2004年當時已經60歲的尹志堯離開硅谷從事了二十多年的半導體行業,帶隊回國創業。于是乎中微很快開發出第一臺國產的生產半導體芯片的設備,它便是等離子體刻蝕機。或許大家還不知道,其實在全球最先進的可量產的7納米芯片工藝上,中微半導體是全球五大刻蝕機供應商之一,并已進軍5nm領域。

按照當前芯片發展進度,臺積電已經開始打造5nm生產線,而在這條生產線上臺積電將搭載5nm等離子體蝕刻機便是來自于深圳中微半導體。目前該技術已經得到了臺積電的驗證。

在芯片制造領域,光刻機和蝕刻機一直是芯片制造領域的關鍵。在業界有個形象的比喻,光刻機是芯片制造的魂,蝕刻機是芯片制造的魄,如果要想制造高端的芯片,這兩個東西都必須頂尖。

而在光刻機方面,與世界最先進的7nm制程都相去甚遠。不管三星、英特爾還是臺積電在芯片制程工藝方面如何去競爭,但ASML終究是背后最大霸主,最大贏家,因為他們誰都離不開他的EUV光刻機。而國產光刻機還在路上,目前我國已經能夠使用365納米波長的光生產22納米工藝的芯片,這在全世界尚無先例,它也被稱為世界上首臺分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備。這也意味著國產光刻機可以使用低成本光源,實現了更高分辨力的光刻。

從光刻機還是蝕刻機,至少可以看得出來國產芯片已經取得了非常大的成就。中微半導體7nm蝕刻機的量產,直接邁入世界一流行列,5nm蝕刻機也在實驗階段。而光刻機方面已邁入22納米。

我們也相信如果光刻機與蝕刻機紛紛取得進展,也將成為如果挑戰臺積電、三星、英特爾背后大霸主的有力籌碼。至少“科技自立”下,實現芯片研發國產化、加工制造本土化。那個時候,將會造福諸如華為、小米、OV等國產手機。
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